半導体製造プロセス用圧力調整器「e-flow(R)シリーズ」総合カタログユタカ

基本情報半導体製造プロセス用圧力調整器「e-flow(R)シリーズ」

基本性能、クリーンレベル等、半導体製造プロセスガスに最適な圧力調整器です。

e-flow(R)シリーズ圧力調整器は、半導体製造プロセスガス専用圧力調整器として、
基本性能、クリーンレベル等、半導体製造プロセスガスに最適な圧力調整器です。
部品洗浄の最終工程から、組立、検査、最終梱包まで、
最新設備が導入されたクリーンルームで製作されています。
ユタカは、半導体製造プロセス用圧力調整器をはじめとした、
各種ガス・コントロール機器を、ISO9001品質マネジメントシステムおよび
ISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

小流量用配管取付型流量計「NF-Bシリーズ」

「NF-Bシリーズ」は、主要部材質C3771BEの小流量用配管取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。（詳細を見る）

圧力固定式小型ガス混合装置「SMXシリーズ」

圧力固定式小型ガス混合装置「SMXシリーズ」は、2種ガスの流量目盛を混合比率に合わせ、別の目盛範囲にすることもできます。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【特徴】
○2種ガスの流量目盛を混合比率に合わせ、別の目盛範囲にすることもできる
○オプションでガス濃度解析計を付属することもできる

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。（詳細を見る）

中流量用円形流量計「DNシリーズ」

中流量用円形流量計「DNシリーズ」は、流量精度をフルスケール±7％以下の高精度としながら、DS、DLシリーズより軽量化したモデルです。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 A5052BD
○蓋ネジ C3604BD
○透明板 PMMA（アクリル樹脂）
○Ｏリング NBR

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中流量用パネル取付型流量計「LF-Pシリーズ」

「LF-Pシリーズ」は、標準流量100L/minの中流量用パネル取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

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溶接機用ガス節約器「ECOREシリーズ」

溶接機用ガス節約器「ECOREシリーズ」は、アーク溶接等のスタート時のガスピーク現象（トーチスイッチを押した瞬間の最大放出現象）を抑えることにより、無駄なガス放出と溶接品質への悪影響を減らすことができます。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○節約器本体 C3604BD
○蓋 C3604BD
○カバー C3604BD
○弁シート NBR

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配管用圧力調整器「FR-I0-Pシリーズ」

「FR-I0-Pシリーズ」は、主要材質C3604BD、RoHS指令対応の配管用圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート/ダイヤフラム/安全弁シート NBR

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一段式圧力調整器「FR-I0シリーズ」

「FR-I0シリーズ」は、主要材質C3604BD、RoHS指令対応の一段式圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート/ダイヤフラム/安全弁シート NBR

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ボンベ取付型二段式圧力調整器「FR‐IIS-OPシリーズ」

「FR‐IIS-OPシリーズ」は、主要材質C3604BD、RoHS指令対応のボンベ取付型二段式圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート/ダイヤフラム/安全弁シート NBR

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圧力調整器・流量計・ガス供給装置　総合カタログ（抜粋版）

圧力調整器・流量計・ガス供給装置　総合カタログは、
流量計付一段式圧力調整器「FR‐Iシリーズ」をはじめ、
溶接機用ガス節約器「ECOREシリーズ」や、
小流量用圧力調整器取付型流量計「NFシリーズ」など、
用途に合わせた幅広いラインアップを掲載しております。

【掲載内容】
○圧力調整器の選択の指針
○用途別圧力調整器選定表
○流量計選定表
○半導体製造プロセス用圧力調整器　他

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※こちらのカタログは抜粋版になります。
全編必要な方は、お問い合わせ下さい。（詳細を見る）

中流量用減圧機構付円形流量計「DN-Lシリーズ」

中流量用減圧機構付円形流量計「DN-Lシリーズ」は、流量精度をフルスケール±7％以下の高精度としながら、DS、DLシリーズより軽量化した減圧機構付モデルです。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【特徴】
○流量精度はフルスケール±7％以下の高精度としながら、
　DS、DLシリーズより軽量化したモデル
○減圧機構付

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中流量用配管取付型流量計「LF-Bシリーズ」

「LF-Bシリーズ」は、主要部材質C3771BEの中流量用配管取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

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中流量用圧力調整器取付型流量計「LFシリーズ」

「LFシリーズ」は、RoHS指令対応の中流量用圧力調整器取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

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小流量用パネル取付型流量計「NF-Pシリーズ」

「NF-Pシリーズ」は、標準流量25L/minの小流量用パネル取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

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小流量用圧力調整器取付型流量計「NFシリーズ」

「NFシリーズ」は、RoHS指令対応の小流量用圧力調整器取付型流量計です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○流量計本体 C3771BE
○流量計カバー PC
○ホース継手 C3604BD
○Ｏリング NBR
○目盛管 AS樹脂又はガラス

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MAGガス用流量計付二段式圧力調整器「FCR-226シリーズ」

「FCR-226シリーズ」は、RoHS指令対応のMAGガス用流量計付ヒーター内蔵二段式圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3771BE
○調整器カバー 66-ナイロン
○弁座 C3604BD
○弁シート PCTFE、PFA　安全弁シート NBR
○Oリング FKM、NBR

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炭酸ガス用流量計付ヒーター内蔵圧力調整器「FCR-Nシリーズ」

「FCR-Nシリーズ」は、主要部材質C3771BEの炭酸ガス用流量計付ヒーター内蔵圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3771BE
○調整器カバー ADC12
○弁座 C3604BD
○弁シート PCTFE
○ダイヤフラム/安全弁シート NBR

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流量計付ヒーター内蔵圧力調整器「FCR‐2503シリーズ」

炭酸ガス用流量計付ヒーター内蔵圧力調整器「FCR‐2503シリーズ」は、FCR-803Kシリーズの高性能はそのままで小型・軽量化したモデルです。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3771BE
○調整器カバー ADC12
○弁座 C3604BD
○弁シート PTFE
○ダイヤフラム/安全弁シート NBR

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。（詳細を見る）

ボンベ取付型流量計付一段式圧力調整器「FR‐IS-Pシリーズ」

「FR‐IS-Pシリーズ」は、主要材質C3604BDのボンベ取付型流量計付一段式圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート/ダイヤフラム/安全弁シート NBR

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。（詳細を見る）

配管用流量計付圧力調整器「FR‐IPシリーズ」

「FR‐IPシリーズ」は、主要材質C3604BDの配管用流量計付圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート/ダイヤフラム/安全弁シート NBR

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流量計付無変動型圧力調整器「FR‐IAシリーズ」

「FR‐IAシリーズ」は、主要材質C3771BEの流量計付無変動型圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3771BE
○調整器カバー ZDC
○弁シート PTFE
○ダイヤフラム NBR
○安全弁シート NBR

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流量計付二段式圧力調整器「FR‐IIシリーズ」

「FR‐IIシリーズ」は、RoHS指令対応の流量計付二段式圧力調整器です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート・ダイヤフラム・安全弁シート NBR

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流量計付一段式圧力調整器「FR‐Iシリーズ」

流量計付一段式圧力調整器「FR‐Iシリーズ」は、RoHS指令対応製品です。
Crown圧力調整器・流量計・ガス供給装置は、超高圧から微圧まで、また、大流量から小流量まで、一般産業ガス、理化学用標準ガス、医療ガス等、あらゆるガスにご使用いただいております。部品加工から、組立、検査、最終梱包まで、最新設備が導入された自社工場で製作されています。
ユタカは、圧力調整器をはじめとした各種ガス・コントロール機器をISO9001品質マネジメントシステムおよびISO14001環境マネジメントシステムのもとで、設計・製造・販売しています。

【主要部材質】
○調整器本体 C3604BD
○調整器カバー ZDC
○弁座 C3604BD
○弁シート NBR
○ダイヤフラム NBR

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精密機器　製造・販売サービス

ガス制御機器の総合エンジニアリング。
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半導体製造プロセス用圧力調整器「e-flow(R)シリーズ」

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MAGガス用流量計付二段式圧力調整器「FCR-226シリーズ」

炭酸ガス用流量計付ヒーター内蔵圧力調整器「FCR-Nシリーズ」

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配管用流量計付圧力調整器「FR‐IPシリーズ」

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