株式会社リンテック東京営業所
最終更新日：2020-05-12 14:56:56.0
減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
基本情報減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する
と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応
減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です。
【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する
と同時に高効率で気化可能
○ピエゾバルブ採用
○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応
○最高160℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○RoHS対応
※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
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