減圧・常圧プロセス用高効率気化器　VU-450 series

液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより各種液体を精密流量制御し、効率よく気化供給する気化器です（US PAT.5372754）。

【特長】
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、
　 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754）
○常圧条件下で水の気化供給が可能
○最高200℃の加熱が可能
○コンパクトなボディサイズ
○キャリアガスの流量に応じた豊富なバリエーション
　 （1SLM〜100SLM）
○RoHS対応

※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。 （詳細を見る）