「絶対圧力計　AVG」製品カタログ

マイクロコイル真空計は、気体の熱伝導を利用した熱伝導方式の真空計です。一般的に熱伝導方式の真空計ではピラニ真空計が有名で、他の方式の真空計より、比較的安価で、取扱いも容易のため幅広く利用されています。しかし、測定領域は狭く、使用環境によっては計測値に影響を受けたり、振動、衝撃などにより断線するなど、耐環境性が高くありません。
マイクロコイル真空計は、ピラニ真空計と同じ熱伝導方式ですが、従来のピラニ真空計より広領域測定可能で、測定値の安定性、センサ部の耐環境性、取扱いの利便性を高める機能を有した真空計です。 （詳細を見る）

真空計の校正方法 JIS Z 8750 に準じた装置です。中真空領域を測定する真空計（主にピラニ真空計などの熱伝導型真空計）を校正するのに最適です。ご要望に応じて簡易型も製作可能です。 （詳細を見る）

真空技術は多くの産業で必要とされ、様々な生産設備が用いられています。それらの生産設備内の環境は、大気圧から10-5Paまで大きく異なり、また大半の生産設備は連続した複数の異なる加工環境工程で構成されています。そのため、製品の品質、生産性に影響をおよぼす設備内の環境で、それぞれのプロセス・製品近傍の圧力分布、ガスの流れを動特性（ダイナミック）に計測・把握することは非常に重要です。しかし、現状は真空計の大きさ等の制約から、本来、測定したいポイントでは測定できず、装置の外壁近傍にしか設置できないため「間接的」な測定となり、設備環境はシミュレーション等の結果から求められています。マイクロハクマク圧力センサであれば、超小型・堅牢であることから、設備環境内へ設置でき、今まで測定できなかったところで測定が可能となり、見えなかったところが可視化できます。最適な設備環境への改善・監視に結びつき、製品の高品質化、歩留まりの向上を通して低炭素化（環境負荷の低減）が達成できます。 （詳細を見る）

『ピラニ真空計 APG型』は、センサフィラメントのマイクロ化により
耐衝撃・耐振動に優れた真空計測機器です。

測定器本体とセンサ間のデジタル接続により、センサ交換や
センサケーブル長による測定値への影響はありません。

接点出力により圧力コントロールへの応用と、移動平均機能で
圧力変動の激しい測定にも対応が可能です。

【特長】
■軽量コンパクト
■センサフィラメントのマイクロ化により耐衝撃・耐振動に優れる
■センサ交換やセンサケーブル長による測定値への影響はない
■接点出力により圧力コントロールへの応用が可能
■移動平均機能で圧力変動の激しい測定にも対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

読み取り安いデジタルLED表示で、低真空領域（0.1～133.3kPa）が測定できる真空計です。アナログ出力、コンパレータ出力、通信出力を装備しておりますので、真空度測定、監視、制御に使用できます。また、出力のフルスケール設定機能、移動平均設定機能など多彩な機能を装備しております。

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