一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2018-02-01 17:06:18.0
【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響
基本情報【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響
XPS: X線光電子分光法
分析の事例をご紹介します
【分析事例】XPSにおける吸着酸素の影響
XPSは試料表面(数nm程度の深さ)の組成・結合状態に関する知見を得る手法ですが、イオン照射によるスパッタエッチングを組み合わせることで、試料内部や深さ方向分布の評価も可能です。
但し、スパッタエッチングを伴う評価ではXPSの原理及び測定機構から、吸着酸素の影響を受けて酸素量が本来の組成より過大評価される場合があり、注意が必要です。
酸素が吸着し易い試料(Ti,TiN,AlN等)の評価や微量酸素に着目した評価の場合には吸着酸素の影響が大きくなるため、試料間比較やSIMSでの分析を推奨しています。 (詳細を見る)
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