東京電子株式会社
最終更新日：2018-07-04 09:50:11.0
極高真空計『3B-Gauge』
基本情報極高真空計『3B-Gauge』
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、
ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が
可能な新しいタイプの測定子です。
電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット
フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。
【特長】
■3つの測定限界を総合的に改善
■10-12Pa台までの圧力測定が可能
■低ガス放出化が図られている
■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ）
■電流導入端子：SUS304,Kovar真空端子
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
極高真空計『3B-Gauge』
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、
ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が
可能な新しいタイプの測定子です。
電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット
フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。
【特長】
■3つの測定限界を総合的に改善
■10-12Pa台までの圧力測定が可能
■低ガス放出化が図られている
■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ）
■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 極高真空計『3B-Gauge』
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子（応用）機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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