【技術資料進呈】シリコン中の不純物分析におけるふっ酸、硝酸を用いた分解の検討

当技術資料は、酸添加等自動前処理装置「DEENA」を用いて
半導体等原料のシリコン分解（溶融）における、ふっ化水素酸・
硝酸を用いた自動前処理について考察しています。

半導体原料等におけるシリコン（金属シリコン、Si 単体）の含有成分や
不純物分析を行う際には、ふっ化水素酸を用いることが多くあります。

しかし、ふっ化水素酸とシリコンとは、非常に反応性が高く、フッ化水素酸を
ごく少量ずつ、反応性に注意しながら添加する必要があり、その際、ふっ酸の
ガスが多量に排出されるため、人への曝露にも注意が必要となります。

そこで、酸添加、撹拌、メスアップ等作業をPC制御にて全自動で行うことができる
DEENAを用いて、半導体等原料のシリコン分解（溶融）における、ふっ化水素酸
・硝酸を用いた自動前処理を検討しました。

【掲載内容】
■目的
■概要
■使用試薬
■分析フロー　他

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『DEENAシリーズ』は、金属の酸分解前処理をはじめとする様々な
分野の分析を自動化することのできる装置です。

試薬の添加、撹拌混合、加温加熱、冷却放置、スパイクの添加から
メスアップに至るまで、これまで人の手を介する必要のあった作業を、
正確、迅速、安全に全自動で行うことができます。

金属分析の前処理や試薬の混合、反応からメスアップまで
前処理を自動化することにより、これまで囚われていたルーチン作業
から解放します。

【特長】
■危険な試薬による人への曝露を防ぐことができる
■全自動によるコストメリット
■ヒューマンエラーの排除
■ブランクの低減
■専用バイアルを用いることによるブランクの低減
■希釈装置や試薬添加の分注器としての使用

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【※デモ機貸出中！】
マイクロウェーブ前処理装置に変る酸添加加熱前処理装置です。
酸の添加、加熱、希釈、メスアップをカスタマイズして使用することができます。
ＡＳＴＭ規格のクラスＡのバイアルが用意されております。

マイクローウェーブ前処理装置より安価で時間当たりの処理検体数が多いのが特徴です。

酸やによる火傷怪我危険性とコンタミを軽減できます。
希釈、メスアップまでできるシステムはＤＥＥＮＡで決まりです。

【特長】
■酸の添加、加熱、希釈、メスアップをカスタマイズして使用可能
■安価で時間当たりの処理検体数が多い
■試薬の作業者への防爆を防ぐ
■側面と底面からバイアルを加熱することで分解を促進
■堅牢で強固な設計が長い耐久年数をお約束

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