電源装置『スパッタリング用 直流電源』

アークの異常放電を高速スイッチにより数μSecで抑え込み、低ダメージ化を実現

『スパッタリング用 直流電源』は、FPGA（field-programmable gate array）による
柔軟なプログラム処理が可能な電源装置です。

スパッタ用DC電源では、電圧電流の調整が容易な反面、成膜中に発生し
均一な成膜の生成を妨げる、アーク放電への対策が必要となります。
本製品はアークの異常放電を任意の設定値（時間、検出値）で抑え込むことが可能です。

「スパッタリング」とは、真空成膜技術のひとつで
物理的蒸着法（PVD：Physical Vapor Deposition）の一種です。
高いエネルギーを持った原子や分子が固体に衝突すると、
その表面から原子が叩き出される現象を「スパッタ」と言い、
この現象を利用して薄膜を形成することを「スパッタリング」と呼んでいます。

【特長】
■異常放電制御
■保護機能
■低アーク処理（オプション）
■成膜装置、プラズマ発生、加速器用電磁石に対応

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。