枚葉式ウェット処理装置（研究開発・少量試作用）※デモ可

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基本情報枚葉式ウェット処理装置（研究開発・少量試作用）※デモ可

高圧ジェットを使用した枚葉（スピンナー）型リフトオフ装置

■対応ワークサイズは、2～8インチ（※角基板、12インチはお問合せください）
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能（※詳しくはお問合せください）
■裏面回り込み防止機能

試作開発枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化）
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。（詳細を見る）

取扱会社枚葉式ウェット処理装置（研究開発・少量試作用）※デモ可

日精株式会社本社

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