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最終更新日:2018-08-07 16:59:16.0

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枚葉式ウェット処理装置(研究開発・少量試作用)※デモ可

基本情報枚葉式ウェット処理装置(研究開発・少量試作用)※デモ可

高圧ジェットを使用した枚葉(スピンナー)型リフトオフ装置

■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計(従来機から約40%コンパクト化)
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 (詳細を見る

取扱会社 枚葉式ウェット処理装置(研究開発・少量試作用)※デモ可

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「商社」事業と「メーカ」事業にて展開しており、多様化するお客様のニーズに対して、ご満足いただける広範なビジネスソリューションを ご提案いたします。 ◆商社機能 「産業機械設備」  半導体製造・検査装置、医薬品製造装置  https://www.nissei.co.jp/machinery ◆商社機能 「物資・化成品等」  樹脂・金属・その他加工品、電子・電気部品  https://www.nissei.co.jp/material ◆商社機能 「情報・通信機器」  自動認識機器、アンテナ、ネットワーク通信機器  https://www.nissei.co.jp/it ◆メーカ機能 「機械式駐車場設備」  https://www.nissei.co.jp/parking ◆メーカ機能 「凍結乾燥機」  https://www.nissei.co.jp/freezedry

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