一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2021-05-13 10:11:35.0
白色干渉計測法_ A0020
基本情報白色干渉計測法_ A0020
白色干渉計測法
白色干渉計測法は、高輝度白色光源を用いて試料表面を「広視野・高垂直分解能・広ダイナミックレンジ」で非接触(非破壊)三次元測定が可能な装置です。
・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置
・非接触・非破壊で三次元測定が可能
・広い視野(50μm×70μm ~ 5mm× 7mm)
・高垂直分解能(0.1nm)
・広いダイナミックレンジ(<150μm)
この資料では、適用例や原理、データ例などを紹介しています。
取扱会社 白色干渉計測法_ A0020
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