IPA 蒸気洗浄装置

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基本情報IPA 蒸気洗浄装置

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象：６インチ　１カセット相当
　　　　　シリコン、ガラス、部品等
槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層
　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

取扱会社 IPA 蒸気洗浄装置

日精株式会社本社

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