東京電子株式会社
最終更新日:2018-07-04 13:33:39.0
高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』
基本情報高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』
新設計のセンサによるMTBFの向上とランニングコストの削減を実現!
『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と
装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計です。
RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、
カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。
メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、
センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な
障害を回避できます。
また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより
フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。
【特長】
■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集
■標準校正器(オプション)
■TCP/IPイーサネット接続が可能
■デュアルフィラメント(2本)
■現場で交換可能な2次電子増倍管
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』
『Transpector MPH』は、プロセスの不具合を解消し、歩留まりの向上と
装置のダウンタイムの短縮を目的として設計された高性能残留ガス分析計(質量分析計)です。
RGAイオンソースのデザインを一新し、2つのフィラメントをアノード、
カソード、およびリペラー電極を組み合わせたアセンブリとしています。
メインおよびバックアップを使用するデュアルフィラメント設計により、
センサを長期間に渡って使用することが可能になり、システムの致命的な
障害を回避できます。
また、用途に適したフィラメントを選択できるため、プロセスにより
フィラメントの寿命が縮まるような事はありません。
【特長】
■1ポイント当たり1.8msの超高速データ収集
■標準校正器(オプション)
■TCP/IPイーサネット接続が可能
■デュアルフィラメント(2本)
■現場で交換可能な2次電子増倍管
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 高性能残留ガス分析計『Transpector MPH』
○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ ・ピラニゲージ ・コールドカソードゲージ ・ホットカソードゲージ ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計 ・真空ポンプ用電源 ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器
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