クアーズテック株式会社
最終更新日:2019-02-14 14:05:03.0
【カタログ】真空破壊用ブレイクフィルター
基本情報【カタログ】真空破壊用ブレイクフィルター
【1本から対応可能】真空装置のパーティクル低減・スループットの向上を可能にし、多彩なラインナップでお客様のニーズにお答えします!
【特長】
■ダスト低減効果
セラミック多孔体の持つ微細な細孔により、ガスの流速が低減されて均一に拡散し、ダストの舞い上がりを防止します。
■ベント時間短縮効果
ダスト舞上がり防止性能が優れている為、大流量でベントする事が可能です。
■多彩なラインナップ
主にロードロックチャンバーでご使用頂く"アルミナタイプ"の他、プロセスチャンバーでご使用頂ける"オール石英タイプ"やチャンバー壁面へ設置する事により省スペース化につながる"円板SiCタイプ"などを取り揃えております。
※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にご連絡ください。
真空破壊用『ブレイクフィルター』 ※詳細資料を無料進呈中!
『ブレイクフィルター』は、セラミック多孔体のもつ微細な細孔を利用した真空破壊用ディフューザーです。
真空チャンバーのベントポートに取り付けることにより、ダスト低減やスループット向上に優れた効果を発揮します!
【特長】
■ガスの流速が低減されて均一に拡散し、ダストの舞い上がりを防止
■ダスト舞い上がり防止機能が優れており、大流量でベントすることが可能
■多彩なラインアップ
※詳しくはPDF資料をご覧頂くか、お気軽にご連絡ください (詳細を見る)
取扱会社 【カタログ】真空破壊用ブレイクフィルター
クアーズテックでは、半導体関連をはじめ、液晶関連、一般産業関連、環境関連、バイオ・医療関連などの各分野に向けて先端材料・高機能部品を提供しています。 ○半導体関連事業 半導体製造プロセスに必要な石英ガラス、炭素・炭化ケイ素製品を はじめ、各種ファインセラミックス製品などを開発・供給しています ○液晶関連事業 フラットパネルディスプレイの大画面化により、より高精度化が求め られるフォトマスク基板をはじめ、フラットパネルディズプレイ生産の 合理化・効率化をサポートする多彩な製造部材を提供しています。 ○一般産業関連事業 運輸・電機など様々な製品に組み込まれるモーターの電流を供給する カーボンブラシ、短時間で高温に昇温が可能な産業用ヒーター、 電子部品の焼成用耐火物など、無機材料の特性を生かした製品を 供給しています。 ○環境関連事業 高温用熱交換器など、環境保全や環境負荷の低減に貢献する製品を供給 しています。 ○バイオ・医療関連事業 ハイドロキシアパタイト人工骨補填材といった高い技術力と加工技術を駆使した製品を供給しています。
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