レチクル保管庫・マスク保管庫

特徴｜
● クリーンモジュールユニットを搭載し庫内をクリーンに保ちます。
● レチクルケースをクリーン環境で保管できます。
● 収納するレチクルケースの段数や列数に合わせて、オーダーメイドでの製作も可能です。
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クリーン設備機器関連製品　レチクル保管庫は、レチクル保持具に、耐摩耗性に優れた超高分子ポリエチレンを使用しています。背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。レチクルケースの形状に合わせて、保持具は製作いたします。外形寸法はW1140×D673×H1430mm、一室間口はW510×H330mm、収納枚数は60枚です。フィルターはクリーンモジュールユニット1台で、集塵効率は99.99％以上 0.3μmです。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 （詳細を見る）

クリーン設備機器関連製品　マスク保管庫

【仕 様】
〇外 形 寸 法:W1104×525×H1191
〇棚 板 枚 数:4枚
〇フィルター:クリーンモジュールユニット1台
〇集 塵 効 率:99.97%以上0.3μm
〇風 量:3.4/4.5m3/min
〇 扉 :マグネットパッキン式
〇本 体:SUS304 ミガキ
〇前 面:帯電防止塩ビ
〇棚 板 材 質:スライド溝付 超高分子ポリエチレン
〇本 体 枠 材 質:アルミニウム アルマイト処理

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クリーン設備機器関連製品　マスク保管庫

●下部ローラーに耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンを使用しています。

●背面にクリーンモジュールユニットを搭載し、内部は常にクリーンな状態です。

●詳しくはお問い合わせください。

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