クローズドループガルバノメータスキャナ『83xxKシリーズ』

高レベルの走査精度・速度・信頼性を発揮。高精度を必要とするアプリケーションに

『83xxKシリーズ』は、厳しい条件下で高精度を要求するアプリケーション
向けに「62xxHシリーズ」の高速性能と信頼性を基に高分解能と
熱的安定性をさらに改善したクローズドループガルバノメータスキャナです。

低ドリフト・低ノイズ性能により、位置安定性が重要となる微細加工や
広範のフィールドサイズのアプリケーションなど高精度を必要とする
アプリケーションに適しています。

【特長】
■高い走査速度を実現
■優れた精度で高品質のパフォーマンスを提供
■堅牢設計で長期間に渡る一貫した安定性をサポート
■コンパクトサイズ・狭いスペースにも容易に設置
■各波長のミラーコーティングの幅広いオプションをラインアップ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。