マグネトロンスパッタコーター　SC-701MC

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター

【特徴】
○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用
○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献
○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート
○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます
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QUICK AUTO COATER SC-701ATは、真空排気からコーティング(エッチング)、大気解放までを自動で行なう全自動タイプのコーターです。

【特徴】
○膜厚制御連動方式により、個人差の少ないコーティングが可能(良再現性)。
○コーティング/エッチングモード搭載
〇デバイスの電極膜付けにも使用可能
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