次世代アークイオンプレーティング装置シリーズ

『iDS-mini』は、大幅なコーティング材料コストの低減ができる
小型生産機・研究開発機です。

新開発のアーク蒸発源はカソード材料をφ160×t12のサイズまで大型化し、
広い面積を効率よく消耗させるため、磁石を回転させる独自の構造と
なっています。

これらによりカソード材料の長寿命化が達成され、カソード材料コストは
約4分の1まで低減させることができます。（当社従来比）

【特長】
■磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を搭載
■低コスト短サイクルのコーティング処理が可能
■磁石を回転させる独自の構造(特許出願済み)
■カソード材料コストは約4分の1まで低減できる(当社従来比)
■大幅なサイクルタイム短縮を実現

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『iDS500』は、磁場ステアリング方式を利用した新開発アーク蒸発源を
搭載し、かつ各コンポーネントを高性能化したことにより、
低コスト短サイクルのコーティング処理を可能とした
次世代アークイオンプレーティング装置です。

真空ポンプをカバー内部に収納することで、設置環境の静粛性を向上。

また、アーク蒸発源の荷電部や配線類をカバーで覆い、インターロックを
付与することで安全性も向上しました。

【特長】
■大幅なコーティング材料コストの低減
■大幅なサイクルタイム短縮を実現
■ダスト対策（オプション）
■フルカバースタイルで静粛性・安全性を向上
■低コスト短サイクル(当社従来比)のコーティング処理が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）