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最終更新日:2019-01-23 10:41:16.0

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成膜装置『ロールコーター<CVR-1000>』

基本情報成膜装置『ロールコーター<CVR-1000>』

ドラムレスのフラットWeb搬送!プラスチック・金属フィルム&フレキシブルガラスに多層構造薄膜形成が可能!

『ロールコーター<CVR-1000>』は、プラスチック・金属フィルム&フレキシブルガラスへの
多層構造薄膜形成が可能な装置です。

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、
成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセスを組み合わせたマルチプロセスが可能です。

【掲載内容】
■RtoR装置コンセプト&CVR-1000構成図
■用途とラインナップ
■全固体電池用マルチチャンバーSP装置(両面型)

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

成膜装置『ロールコーター』

成膜装置『ロールコーター』 製品画像

『ロールコーター』は、プラスチックフィルム・金属フィルム等に連続的に
表面処理をする装置です。

ドラムレスのフラットWeb搬送と処理表面の成膜前非接触搬送を可能にし、
成膜は、プラズマCDV法、スパッタリング法、真空蒸着法等のプロセス
を組み合わせたマルチプロセスが可能です。

また、素材ロールの脱ガス対策にTMP+CRT排気システムの採用しました。

【特長】
■ドラムレスのフラットWeb搬送が可能
■処理表面の成膜前非接触搬送が可能
■マルチプロセスが可能
■TMP+CRT排気システムを採用

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

取扱会社 成膜装置『ロールコーター<CVR-1000>』

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■RtoR真空成膜装置(ロールコーター)設計開発 ■真空機器・分析機器の設計製造販売 ■真空・プラズマ・低温・分析関係コンサルタント ■特定派遣業務

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