Equilibar問合仕様記入書

Equilibarドームロード背圧レギュレーターは複数オリフィス設計により、上流側の流量変動による設定圧力への影響が小さく、安定した制御を行う事が可能です。
柔軟なダイアフラムのみで制御するので、スプリング式背圧弁のように摩擦で精度が落ちることは無く、応答速度も速いです。

パイロットポートを真空ポンプと繋げることで、真空レギュレーターとしてご利用頂けます。

【特徴】
■大半のアプリケーションにて1％未満の過剰圧力で完全に開く
■気液混合流体やスラリー、腐食性の強い流体でも使用可能
■真空・真空ー正圧制御を高精度で制御
■シンプルな構造なため部品交換及び組立も容易
■最小：0.1kPa以下、最高：約70MPaまで調整可能

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