直結型油回転真空ポンプ(二段式)『VRDシリーズ』VRD-J-06

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した
二段式の直結型油回転真空ポンプです。

排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、
高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。

装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの
量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階)

さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。

【特長】
■ガスバラストバルブ (二段階調節)
■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載
■ピン接合による完全一体型シリンダー構造
■強制油循環システム

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した
二段式の直結型油回転真空ポンプです。

排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、
高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。

装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの
量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階)

さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。

【特長】
■ガスバラストバルブ (二段階調節)
■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載
■ピン接合による完全一体型シリンダー構造
■強制油循環システム

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型
油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。

ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの
アングルバルブで真空チャンバーと接続します。

ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに
取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、
排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。

カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や
スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の
マニュアル操作を行うことが出来ます。

グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、
カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。

シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング
装置を納入した事例を紹介させていただきます。

今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロード
ロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基板温度制御系および
PCと制御装置からなる操作・制御系により構成。

スパッタ室には、ターゲットを取り付けるカソードが3元搭載されており、
それぞれのカソードにRF又はDC電圧を印加、または重畳して印加することも
可能です。

【事例概要】
■納入先：地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
■納入製品：MS-3C100L型

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）