SiC顕微観察装置『SCM-100』

SiC試料の顕微鏡画像をカメラで撮影、リアルタイムLCD出力

『SCM-100』は、あらかじめプログラムされた電流をSiC試料の
トランジスタの内蔵ダイオードに印可する機能を持った
SiC顕微観察装置です。

電流印可時に電流が流れない箇所（欠陥）は発光しないため
顕微鏡に取り付けたカメラで撮影して欠陥を見つけることが可能です。

【特長】
■撮影間隔3秒～24時間で最大撮影枚数999枚、SDカードに保存可能
■出力電圧・出力電流・ステータス情報を最速0.1秒サンプリング可能
■1台のＰＣで5台の電源を制御、データ保存可能
■17インチ程度のLCDに出力させた場合、観察倍率は約60倍～約200倍
■SiC試料の欠陥の成長をその場観察できる

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。