一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-02-19 11:02:01.0
【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価
基本情報【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価
試料断面における応力分布を確認することが可能です
分析の事例をご紹介します
【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価
単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。
IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価
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