外径131mmプリーツフィルター『FasClean-Flow』

コンパクトデザインのプリーツカートリッジを採用！運用コストを抑えるフィルター

『FasClean-Flow』シリーズは、大ろ過面積構造で、
第8世代と第8.5世代のTFT-LCD製造プロセスである洗浄装置及び
ウェットプロセス用フィルターとして、大流量処理に使用されています。

高純度ポリプロピレン(PP)樹脂のハードウェアは幅広い化学品に対応可能。

コンパクトデザインのプリーツカートリッジを採用し、フィルターの寿命が
伸びることでダウンタイムが短縮され、運用コストを抑えます。

【ろ過精度】
■FCFE：1, 2, 5, 10, 20μm 絶対ろ過
■FCFP：0.8, 3,4.5, 10, 30μm
■FCFS：0.1, 0.2, 0.45, 0.8, 1.2, 5μm 絶対ろ過
■FCFT：0.1, 0.2, 0.45, 1, 3μm 絶対ろ過

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。