ＣＫＤ株式会社
最終更新日：2023-07-25 16:26:40.0
ウェットファイン機器総合CB-031-16
基本情報ウェットファイン機器総合
半導体製造プロセス制御の高度ニーズに対応する
高純度・スーパークリーン化に応える。
◆業界トップならではの高い生産技術
高度仕様のスーパークリーンルーム、設計から組立・包装までの一貫した生産体制で高いクオリティを実現。
◆豊富な製品群、特注も対応
◆多種多彩な継手バリエーション
さまざまな装置、用途に合わせて継手をご用意。
◆さらなるクリーン度の追求
コンタミネーションの低減をはかる。
◆環境に配慮した材質選定
有害ガスを発生する材料を排除するなど、地球環境に配慮した材質選定。
【掲載機種】
・エアオペレイトバルブ
・マニュアルバルブ
・流量調整バルブ
・サックバックバルブ
・ファインレギュレータ
・ファインレベルスイッチ
薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」
薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。 （詳細を見る）
プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。
【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制
【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御
【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工
（詳細を見る）
CKD マニュアル式レギュレータ PYM/PMMシリーズ
■特徴
PYMシリーズ
ボディステンレスを採用した空気・N2ガス・純粋用減圧弁
PMM20シリーズ
接続部 オールフッ素樹脂の純粋用減圧弁
PMM50シリーズ
純粋・温純水の大流量供給に対応された減圧弁
※一部バリエーション販売終了、受注生産品御座います （詳細を見る）
取扱会社 ウェットファイン機器総合
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