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最終更新日:2024-10-01 10:24:35.0

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  • カタログ発行日:2024/10/01

ドライファイン機器総合CB-035-11

基本情報ドライファイン機器総合

プロセス制御の未来を拓く

プロセスガス、真空などを使用する半導体・液晶製造プロセスに最適なドライファインシステム。

高純度を確保する、部品・製品を含めた一貫品質管理体制。

薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」

薬液用マニュアルバルブ 「MMD※03RNシリーズ」 製品画像

薬液用マニュアルバルブの新型スタンダードタイプです。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
締付防止機構・誤作動防止ロックリングなどの新機構で信頼性を向上しました。 (詳細を見る

プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」

プロセスガス用レギュレータ「PGMシリーズ」 製品画像

供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ(出流れ)を極限まで抑制

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工



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集積化ガス供給システム「IAGD5」

集積化ガス供給システム「IAGD5」 製品画像

【集積ユニット】
プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。
プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。
設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。

詳しくはカタログをDLいただくか、CKD内商品ページをご覧ください。 (詳細を見る

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB

CKD 高真空用エアオペレイトバルブ AVB 製品画像

【長寿命・高耐久】(パート7シリーズ)
独自構造により長寿命と使い勝手を向上したスタンダードモデル。
成形べローズの形状最適化により高い耐久性。
アルミボディ採用で軽量化。
実力値300万回の圧倒的な耐久性(当社規定条件にて)。

【設置・配管の自由度アップ】(パート7シリーズ)
4方向の任意の位置に操作ポートを選択可能。
4面すべてに動作位置検出用の超小形スイッチの搭載可能。

【長寿命・低発塵】(パート3シリーズ)
バルジ一体成形法により、流路が流線形で表面が滑らかでガス溜りなし。
長寿命成形べローズ。
SUSボディタイプ。 (詳細を見る

取扱会社 ドライファイン機器総合

CKD株式会社

自動機械装置、駆動機器、空気圧制御機器、空気圧関連機器、流体制御機器など機能機器の開発・製造・販売・輸出

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