イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ

イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズ

半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

イワキより、イワキエアー駆動ディスペンサー　SBシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。
レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造。
シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。
フォトレジストへの空気混入を防止。

■ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理にも安心。

■軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備。
（SB-4K/5/6を除く。）
システム組込みに最適な形状選択可能。


その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問合せ下さい。