光計測・光測定に関するテクニカルレポート Vol.15-4

【技術資料進呈中】1ビーム出射プローブを用いたガラス面の変動測定について解説

当資料は、1ビーム出射プローブを用いたガラス面の変動測定について
解説した技術資料です。

標準仕様(標準光学系と同一発想)のプローブ1出射方式を作製し、
光電変換装置もAPD を基盤に装着した構成で作製。

そのプローブ等を用いて、リアルモードで素ガラス面の特性を評価しました。

【掲載内容】
■ビーム出射プローブの構成等について
■試料について
■変位量変動例
■裏面の測定への影響について
■考察・反省

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。