一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日：2024-02-23 10:37:48.0
【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価_C0570
基本情報【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価_C0570
官能基の変化を捉えることでポリイミド樹脂のイミド化率を評価可能です
耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR（フーリエ変換赤外分光法）は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。一例として、ポリイミド樹脂のイミド基から、イミド化率を評価した事例をご紹介します。デバイス上の絶縁膜におけるイミド化率と、耐水性・耐熱性等のデータを比較することで、プロセス確認に有効です。チップ、ウェハのいずれの状態でも評価が可能です。
【分析事例】FT-IRによるポリイミド樹脂の硬化度評価
耐薬品性や電気絶縁性などに優れている樹脂は、様々な電子部品の絶縁体、コーティング剤、接着剤として利用されています。FT-IR分析は、樹脂の硬化度等の不良原因を調査することが可能で、製品開発に有効です。一例として、ポリイミドのイミド基から、イミド化率を評価した事例をご紹介します。
デバイス上の絶縁膜におけるイミド化率と、耐水性・耐熱性等のデータを比較してのプロセス確認に有効です。チップ、ウエハのいずれの状態でも評価が可能です。 （詳細を見る）
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