一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2019-08-29 15:52:05.0
【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析
基本情報【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析
デバイス内部の構造を複合的に評価します
分析の事例をご紹介します
【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析
MSTでは電子デバイス内部の構造評価に適した技術を取り揃えており、観察視野や目的に応じた分析手法をご提案します。
本資料では、X線CTとFIB-SEMを用いてデバイスの特異箇所を調査した事例を紹介します。まずX線CTを用いてサンプル全体の内部構造を観察し、特異箇所を探索しました。続いて、ビア上に確認された特異的な構造物について、FIB-SEMを用いて詳細な構造を確認しました。 (詳細を見る)
取扱会社 【分析事例】電子デバイス内特異箇所の複合解析
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