標準フランジ付真空フィードスルー『VFTシリーズ』

真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用

『VFTシリーズ』は、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび
薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用
アクセサリです。

真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用。

業界基準のフランジに結合可能で、KF40 およびKF16 ISO フランジ、
また2.73 インチおよび1.33 インチのコンフラットフランジの
4種類でご提供可能です。

【特長】
■測定内容：発光測定
■真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用
■業界基準のフランジに結合可能
■サージカルステンレスによって構成されている
■真空フィードスルーは、コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの
　光ファイバで利用可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。