【技術紹介】Si特殊加工

Siウェーハ等の加工素材に対応！さまざまな素材の研磨ニーズにお応えします

日本エクシードは、薄化加工技術や高清浄化技術などを用いた
Si特殊加工を行っております。

Siウェーハをはじめ、SOIウェーハ、その他単結晶・多結晶シリコン
部品材料(ドライエッチング装置用電極、フォーカスリングなど)も
対応可能。

当社は、さまざまな加工素材の研磨ニーズにお応えしております。

【Si特殊加工】
■薄化加工技術
■小口径高精度加工技術
■高清浄化技術

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。