韓国SEC社製　分析装置『SNE-4500M Plus B』

お客様仕様のニューモデル、自動化ステージ機能で迅速に位置移動可　　 ビューカメラに依り試料位置が見つけ易い　　　

主要特長］１．最大倍率１５万倍実現
　　　　　　２．自動ステージコントロール（Ｘ，Ｙ，Ｒ，Ｚ，
Ｔ－５軸）　　　　　　　　　
　　　　　　３．Ｔｏｐ－Ｖｉｅｗ　ＣＣＤカメラ装着　　　　　　　　
［仕様］　　
１．分解能　５ｎｍ　　２．倍率　１０ｘ～１５０，０００ｘ
　　　３．加速電圧　１ｋｖ、５ｋｖ、１０ｋｖ、１５ｋｖ、２０ｋｖ、３０ｋｖ
　　　４．検出器　　ＳＥ（二次電子像）、ＢＳＥ（反射電子像）
　　　５．電子銃　　タングステンフィラメント
　　　６．試料ステージ　Ｘ：４０ｍｍ，　Ｙ：４０ｍｍ，　Ｒ：３６０°
　　　　　　　　　　　　Ｚ：０～４０ｍｍ、　Ｔ：－１５～９０°　／５軸（自動）
　　　　　　　　　　　　５軸モーター駆動ステージ（標準搭載）
　　　７．最大試料寸法（径／高さ）　８０ｍｍ／５０ｍｍ
　　　８．真空モード　高真空＋低真空　　９．要時間　３分以内
　　１０．主なオプション　　ＥＤＳ，Ｃｏａｔｉｎｇ　ｄｅｖｉｃｅ
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