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最終更新日:2016-02-18 13:29:39.0

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[EBIC]電子線誘起電流

基本情報[EBIC]電子線誘起電流

EBIC信号を測定することにより試料内部の電界構造(半導体の接合構造)に関する情報を得ることができます

EBIC分析(電子線誘起電流)における下記の情報を掲載しております。
・原理
・特徴
・データ例
・適用例

[EBIC]電子線誘起電流

[EBIC]電子線誘起電流 製品画像

SEM装置内で電子線を照射することで、試料内で正孔電子対が発生します。
通常は再結合して消滅しますが、空乏層など内部電界を有する領域で正孔電子対が生じた場合はキャリアが内部電界でドリフトされることで起電流として外部に取り出すことができます。
この起電流をEBIC(Electron Beam Induced Current)と呼び、SEM像と併せて取得することでpn接合の位置や空乏層の広がりを可視化することが可能です。

・pn接合部や結晶欠陥(転位、積層欠陥など)の評価が可能。
・SEM像と重ねることで、接合や結晶欠陥の位置を特定可能。 (詳細を見る

取扱会社 [EBIC]電子線誘起電流

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