神港精機株式会社東京支店
最終更新日:2020-08-03 15:38:17.0
ドライ真空ポンプ SSTSSXシリーズ
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ
◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。
●ZEROEDGEスクリュー
排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。
●メンテナンス性の追求【省コスト】
設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、ランニングコストを最小限に抑えます。
●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。
●パーティクルがドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。一般的なドライポンプに比べ、粉体・生成物・液体の排出性に優れます。
●ポンプ回転速度が低速なため、軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。
●オプション品、多彩なアクセサリーを取り揃え、ご用途に応じた好適なドライポンプをご提案します。 (詳細を見る)
【化学業界向け】ドライ真空ポンプ
◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能です。
◆真空蒸留・真空乾燥・反応槽脱気・溶剤回収など、水封式真空ポンプからの置換え実績が多数。
◆独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。一般的なドライ真空ポンプでは、少量でも内部に凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を吸引すると、故障の原因となります。
◆オプションのクリーニングセットにより、設置した状態のまま、内部に残った吸引物を洗い流す作業が可能です。
◆オプションのシール・パージセットにより、軸受・ギア等への汚染を防ぎます。
◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、メカニカルブースタ+水封の組合せでご使用の場合は、ドライポンプ単体にまとめることができ、簡略化・省スペースになります。
◆設置場所にて、容易に分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業)ができ、ランニングコストを最小限に抑えます。
(詳細を見る)
取扱会社 ドライ真空ポンプ SSTSSXシリーズ
●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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