神港精機株式会社東京支店
最終更新日:2020-08-03 15:38:17.0
ドライ真空ポンプ SSTSSXシリーズ
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ
◆独自設計のスクリューロータにより、
従来ドライポンプでは不向きとされていた
凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの
吸引を含むハードプロセスにおいても
安定した運転を実現します。
●ZEROEDGEスクリュー
排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、
ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。
●メンテナンス性の追求【省コスト】
設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。
●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。
●パーティクルがドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。
一般的なドライポンプに比べ、
粉体・生成物・液体の排出性に優れます。
●ポンプ回転速度が低速なため、
軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。
●オプション品、多彩なアクセサリーを取り揃え、
ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
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【化学業界向け】ドライ真空ポンプ
◆化学業界において、
水封式真空ポンプから
ドライポンプへ置き換える際に、
様々な吸引物により、
一般的なドライ真空ポンプでは
不具合が発生することがありますが、
当社のドライ真空ポンプは
吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、
故障せず安定した連続運転が可能です。
◆一般的なドライ真空ポンプでは、少量でも内部に
凝固性ガス・粉体・生成物・液体(凝縮性ガス)を吸引すると、
故障の原因となりますが、当社のドライ真空ポンプは
独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。
◆オプションのクリーニングセットにより、
設置した状態のまま、内部に残った吸引物を洗い流す作業が可能です。
◆オプションのシール・パージセットにより、
軸受・ギア等への汚染を防ぎます。
◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、
メカニカルブースタと水封の組合せでご使用の場合は、
ドライポンプ単体にまとめることができ、
簡略化・省スペースになります。
◆設置場所にて、分解作業(状態確認・消耗品交換・内部洗浄)ができ、
ランニングコストを最小限に抑えます。
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取扱会社 ドライ真空ポンプ SSTSSXシリーズ
●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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