神港精機株式会社東京支店
最終更新日:2020-05-20 15:09:58.0
水封式真空ポンプ
水封式真空ポンプ SWシリーズ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。
他方式ではトラブルの基となる様々なガスを
封水でシールすることにより安定して排気します。
◆水封式真空ポンプは、
水でシールすることで
凝縮性ガスや引火性ガスの
排気も可能にします。
◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。
◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。
◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組み合わせで800~1,300Paまで向上させることが可能です。
◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、
メカニカルシールも選択できます。
◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。
◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。
(詳細を見る)
【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)
腐食性ガスを吸引するプロセスでは、
接ガス部に耐食性材質を採用することで、
故障を低減できます。
◆耐食性材質としてグレードの高い
SCS14(SUS316)のステンレスで製造します。
◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。
◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。
◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、
配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。
◆水封式真空ポンプですので
凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。
◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、
多少の粉塵では止まりません。
◆二段式のため2,300Paの到達圧力が得られます(水温15℃時)。
また空気エゼクタとの組合せで800~1,300Paまで
圧力を下げることが可能です。
◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。
◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、
封水を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」水封式真空ポンプも
ラインナップしています。 (詳細を見る)
封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ
有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、
封液を直接流出させずに循環させる
「封液循環型」の水封式真空ポンプです。
排水処理でお困りの場合に適しています。
◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、
熱交換器で構成されており、
コンパクトにユニット化しました。
◆腐食性ガスが混入する用途では、
ステンレス(SUS316相当)等の
耐食性に優れる材質への選定も可能です。
◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。
◆管板部が分解可能で清掃ができる
熱交換器を標準装備しています。 (詳細を見る)
取扱会社 水封式真空ポンプ
●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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