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最終更新日:2020-05-20 15:09:58.0

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水封式真空ポンプ

水封式真空ポンプ SWシリーズ

水封式真空ポンプ SWシリーズ 製品画像

豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。他方式ではトラブルの基となる様々なガスを水でシールすることにより安定して排気します。

◆水封式真空ポンプは水でシールすることで凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能にします。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。

◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。また空気エゼクタとの組み合わせで800~1,300Paまで向上させることが可能です。

◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、メカニカルシールも選択できます。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、封水を直接流出させずに循環させる「封液循環型」水封式真空ポンプも製造しています。 (詳細を見る

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製) 製品画像

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、接ガス部が腐食性ガスと接するため、腐食による故障が起こりやすくなります。そのため、接ガス部に耐食性材質を採用することで、故障を低減できます。

◆耐食性材質としてグレードの高いSCS14(SUS316)のステンレスで製造します。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。

◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。

◆水封式真空ポンプですので凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます(水温15℃時)。また空気エゼクタとの組み合わせで800~1,300Paまで向上させることが可能です。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、封水を直接流出させずに循環させる「封液循環型」水封式真空ポンプも製造しています。 (詳細を見る

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ

封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ 製品画像

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、封液を直接流出させずに循環させる「封液循環型」の水封式真空ポンプです。排水処理でお困りの場合に適しています。

◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、熱交換器で構成されており、コンパクトにユニット化しました。

◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス(SUS316相当)等の耐食性に優れる材質への選定も可能です。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆管板部が分解可能な熱交換器を標準装備しています。 (詳細を見る

取扱会社 水封式真空ポンプ

神港精機株式会社 東京支店

●装置事業部 (成膜装置) ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 (プラズマ装置) ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 (熱処理装置) ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器

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