神港精機株式会社東京支店
最終更新日：2020-05-20 15:10:43.0
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ
後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と
組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、
到達圧力を1～2桁低くすることができます。
●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。
●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。
●排気口の向きを下側／横側から選択できます。
●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。
●真空スイッチ（圧力スイッチ）も付属できます。 （詳細を見る）
取扱会社 メカニカルブースタポンプ
●装置事業部 （成膜装置） ・スパッタリング装置 ・真空蒸着装置 ・硬質膜形成装置 ・プラズマCVD装置 （プラズマ装置） ・エッチング装置 ・アッシング装置 ・クリーニング装置 （熱処理装置） ・真空リフロー装置 ・プラズマリフロー装置 ・真空熱処理装置 ・アニール装置 ●規格品事業部 ・ドライポンプ ・油回転真空ポンプ ・水封式真空ポンプ ・メカニカルブースタ ・真空排気装置 ・真空計、真空弁、真空部品 ・精密投影機 ・特殊光学機器
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