ダイレクト露光装置

当製品は、Texas Instruments 社の 0.7XGA DMDを用いた
マスクレス露光装置です。

通常のアライナとしての機能のほか、中間調画像をデータとして
与えることによりハーフトーン露光が可能。

MEMS(MicroElectrical Mechanical Systems) の試作をはじめ、高周波用
ストリップ線路・プリント基板の試作、露光データを毎回変更する
必要があるタイトラーとしての使用など、幅広く応用できます。

【特長】
■Texas Instruments社の 0.7XGA DMDを用いたマスクレス露光装置
■中間調画像をデータとして与えることによりハーフトーン露光が可能
■MEMSの試作、高周波用ストリップ線路、プリント基板の試作、
　タイトラーとしての使用など、幅広く応用可能

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