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最終更新日:2023-06-06 14:32:59.0

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【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション

基本情報【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション

Particle-PLUSは粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』

自動車用スパークプラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』

自動車用点火プラグシミュレーション『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』

アークプラズマシミュレーションソフトウェア『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

点火プラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、重点メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・遮断機
・大気圧放電
・点火プラグ(スパークプラグ)
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』

粒子法プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』 製品画像

Particle-PLUSは、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです。プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに有効なソフトです。二周波CCPや外部回路モデルなどの高度な物理モデルに対する解析も可能です。充実したサポートによりシミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことができます。プラズマを解析するのに粒子モデルを用い、電子・イオンを代表する粒子の運動を追跡するPIC / MC (Particle In Cell / Mote Carlo)法を採用しております。また、対象プラズマ密度に応じて比較的高密度では陰解法を、低密度では陽解法と使い分けることにより、複雑なモデルでも効率良く解くことができます。特に流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします。標準機能でのCCP、ICP、マグネトロンスパッタ計算はもちろんのこと、お客様の装置にあわせたカスタマイズも行っております。 (詳細を見る

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』

マグネトロンスパッタ用解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
information@wavefront.co.jp (詳細を見る

スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』

スパークプラグの摩耗解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』

CVD装置用 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』はCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適した
シミュレーションソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』

点火プラグのエロージョン解析も可能な『VizSpark』 製品画像

VizSparkは、プラズマシミュレーションの専門家、テキサス大学オースティン校のRaja教授が設立した、米国Esgee Technologies社によって開発された、アークプラズマシミュレーションソフトウェアです。

スパークプラグ及び遮断器での解析に最も多くの実績があり、学会においても多くの事例が発表されております。

国内でも完成車メーカー、内燃機関関連メーカーを中心に多くの実績があり、以下のような装置の解析に対応しています。

・点火プラグ(スパークプラグ)
・遮断機
・大気圧放電
・プラズマトーチ(プラズマジェット)
・溶接
・溶射
・高輝度ランプ (詳細を見る

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』

ICPにも対応 解析ソフト『Particle-PLUS』 製品画像

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応した
プラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです

・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする
・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析
・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析
・自社開発ソフトの強みとして
 お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD) など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
sales@wavefront.co.jp (詳細を見る

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、
 高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
・低圧プラズマ解析を得意とします
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン

【事例】Particle-PLUS 回転ターゲットのマグネトロン 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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バルブやポンプの熱流体解析を承ります!

バルブやポンプの熱流体解析を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

ポンプやバルブの熱流体解析を中心に培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

CAEの受託解析・委託解析・請負を承ります!

CAEの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

流体解析受託サービス

流体解析受託サービス 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

CFDの受託解析・委託解析・請負を承ります!

CFDの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

プラズマの受託解析・委託解析・請負を承ります!

プラズマの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

希薄気体の受託解析・委託解析・請負を承ります!

希薄気体の受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

数値シミュレーションの受託解析・委託解析・請負を承ります!

数値シミュレーションの受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

熱流体解析の受託解析・委託解析・請負を承ります!

熱流体解析の受託解析・委託解析・請負を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

各種CAE解析でお客様の製品改善を支援いたします!

各種CAE解析でお客様の製品改善を支援いたします! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

CAEの受託解析で培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析

【事例】「Particle-PLUS」CCP装置の3次元解析 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析 製品画像

『Particle-PLUS』は
プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適した
シミュレーションソフトウェアです。

・低圧プラズマ解析を得意とします
・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで
装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。
・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします
・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます
・自社開発ソフトの強みとして
お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です

◆さまざまな事例に対応◆
・マグネトロンスパッタ
・PVD、プラズマCVD
・容量結合プラズマ (CCP)
・誘電体バリア放電 (DBD)
・電気泳動 など

◆さまざまな計算結果を出力◆
・ポテンシャル分布
・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布
・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス
・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル
・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布
など

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弁やポンプの熱流体解析を承ります!

弁やポンプの熱流体解析を承ります! 製品画像

弊社では受託解析(委託解析)やコンサルティングを事業の柱の一つとして展開しております。

ポンプや弁の熱流体解析を中心に培った豊富なノウハウをベースに、ソフトウェアを使った単純な解析のご提案ではなく、物理の専門家が受託解析(委託解析)サービスのご相談をお請けしております。 (詳細を見る

取扱会社 【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーション

株式会社ウェーブフロント 本社

株式会社ウェーブフロントの企業理念は、 日本の製造業における研究開発~設計~製造~メンテナンスまでのプロセスをシミュレーションという観点からサポートし、 企業活動の高度化・効率化に寄与することです。 弊社ではこの企業理念の下、 CAEと設備資産管理、 信頼性に関するソリューションを提供しています。 CAEの分野では流体解析からマルチフィジックス解析まで各種シミュレーションソフトウェアと これに関連するプリプロセッサ・ポストプロセッサを、設備資産管理の分野では、各種の装置・設備のメンテナンス管理ソフトウェアを、機能安全・信頼性の分野では故障率のコンサルティングからツールの提供まで一貫したサービスを行っています。

【事例紹介】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタシミュレーションへのお問い合わせ

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