チップチルトピエゾステージ　S-331カタログ

・チップチルト角5mrad/光偏向角10mrad(0.57°）
・パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上
・最大12.7mmのミラー用
・ハイリニアリティの位置センサー内蔵
・ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数

直交チップ・チルト軸は共通の回転中心をもち、両軸とも同じ性能特性を発揮するパラレル制御設計。
高剛性で摩耗のないフレクシャガイド内蔵。ダイレクト駆動。
温度感度がSGS。0.1％の線形誤差。

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