ITWジャパン株式会社
最終更新日:2022-08-08 12:13:29.0
サーマル マスフローコントローラ / マスフローメータ『GF40』
基本情報サーマル マスフローコントローラ / マスフローメータ『GF40』
多くのガス流量測定および制御アプリケーションで前例のないパフォーマンス、信頼性、および柔軟性を実現します。
Brooks GF40 デジタル マスフローコントローラ (MFC)および マスフローメータ (MFM)は、多くのガス流量測定および制御アプリケーションで前例のないパフォーマンス、信頼性、および柔軟性を実現します。
GF40は、ブルックスが特許取得済みの第4世代MultiFlo(TM)を搭載した製品です。 MultiFlo(TM)は、多くのサーマル式マスフローの長年の制約を克服しています。ガスの種類を変更する場合、キャリブレーションガスと新しいガスの熱容量の比率などの単純な補正係数では、精度を損なう粘度と密度の違いを説明できません。 Brooks MultiFlo(TM)データベースは、数千もの実ガステストに基づいて構築されており、様々なガスの熱的および物理的特性の違いを補正する機能を搭載したことで、GF40シリーズは現在入手可能なより正確でフレキシブルな マスフローコントローラ / メータ となっています。
マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー
コントローラ/メータです。
さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、
フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。
MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。
1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。
【特長】
■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能
■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応
■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用
■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載
■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント
±1%の制御精度を実現
※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 (詳細を見る)
取扱会社 サーマル マスフローコントローラ / マスフローメータ『GF40』
【取扱製品】 ■マスフローメータ / マスフローコントローラ ■面積式流量計(ローターメータ) ■圧力/真空製品 ■気化器製品 ■半導体製品 超高純度半導体産業向け製品 ■アクセサリーとソフトウェア(ケーブル、バルブ等)
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