メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100/GF120/GF125』

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度
および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフロー
コントローラ/メータです。

高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。
業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と
効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。

【特長】
■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下
■フルスケール流量レート 最大300 slpm
■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション
■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、
　測定の再現性を向上　など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。

その結果、 収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。

【特長】
■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下
■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下
■フルスケール流量レート 最大300 slpm
■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ
■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質
■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサ など

※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。 （詳細を見る）