一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2020-08-28 18:48:51.0
【分析事例】斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC
基本情報【分析事例】斜め加工を用いたMLCCの不純物評価 MLCC
MLCC:multi-layer ceramic capacitor 斜め加工を用いたセラミックス層の不純物分布評価
積層セラミックコンデンサ(MLCC)はセラミックの誘電体と電極を多層化して大容量化を図ったコンデンサです。MLCCの電気的性質は不純物の影響を顕著に受けるため、セラミック層中不純物や電極成分拡散の評価が重要です。
MLCCに微細化に伴い、セラミック層が薄くなり不純物の評価が困難となっています。本資料では、前処理を工夫し、セラミック層の不純物評価した結果を紹介いたします。
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