一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2020-08-31 16:33:00.0
【分析手法詳細編】Xe-プラズマFIBによる構造解析
基本情報【分析手法詳細編】Xe-プラズマFIBによる構造解析
Xe-プラズマFIB(Xe-Plasma Focused Ion Beam)
数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能です。
解析事例:DRAMパッケージ内ボンディングの広域断面解析
取扱会社 【分析手法詳細編】Xe-プラズマFIBによる構造解析
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