一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
最終更新日:2020-08-31 16:39:39.0
【分析事例】SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価
基本情報【分析事例】SEMI規格に準拠したステンレス表面不動態膜の評価
規格に則った試験によって不動態膜質に関する評価指標が得られます
ステンレス鋼は、表面に極薄い緻密で安定したCrの酸化被膜(不動態膜)が形成されることで、優れた耐食性を示します。この不動態膜には、表面敏感な手法であるXPSやAESによる組成、膜厚の評価が有効です。特にSUS316Lについては国際的な業界団体SEMI*により規格化された不動態膜の試験方
法(F60-0306(XPS),F72-0309(AES))が存在します。本資料ではSEMI規格に準拠したXPS分析の評価事例を紹介します。 *SEMI:Semiconductor Equipment and Materials International
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