ウエハレベル発光素子光学特性測定装置

『ウエハレベル発光素子光学特性測定装置』は、VCSEL等各種発光素子の
電気・光学特性測定をウエハレベルで解析するシステムです。

VCSELの特性計測に必要な電気的特性測定のほか、発光ビームプロファイル計測・
FFP計測（放射角度分布計測）・IVL計測・偏光計測等の光学的な特性測定を
ウエハレベルで行うことが可能です。

【特長】
■マニュアルプローバ・セミオートプローバとの組み合わせにより、
　VCSEL等の発光素子のさまざまな電気・光学特性測定をウエハレベルで測定可能
■フォームファクター社製セミオートプローバシステムとの連動機能により、
　各種測定の自動化・高速化・省力化を実現
■当社製光計測・解析ソフトウエアOptometrics Customized Version for LDを搭載　など

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）