*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ

高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。

•使用環境に合わせて仕様選択可能
•ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。)
省設置スペース、省ケーブル、省コスト
•ドライブ回路切離しタイプ
設置環境、設置スペースの自在性
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ)
面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス
日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能  （詳細を見る）

•大学・官公庁等の研究機関で圧倒的な実績
•業界トップレベルの基本性能 → 圧縮比、到達真空度、ガス流量など
•ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動
•付属コントローラーにて、ファイファーバキューム社製真空計モニタリング可能
•アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) → 面倒な配線作業などが不要
•ワールドワイドサービス → 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
•ユニットからターボ分子ポンプの切り離しが可能（オプション） ⇒ 真空引き時間の短縮 （詳細を見る）