カタログ発行日：2020/09/1

半導体中キャリアの直流電圧依存性評価

電子ブックの閲覧方法はこちら

基本情報半導体中キャリアの直流電圧依存性評価

SMMを用いた計測・データ解析（in situ 測定）

SMM計測は半導体中のキャリア濃度の大小をマッピングできる手法です。また、SMM計測時に試料に直流電圧を印加してキャリアを誘起させながら計測することが可能です。各測定点で印加電圧条件毎にSMM信号を取得しながらマッピング測定を行い、データキューブを構築します。全データ収集後に印加電圧条件ごとにSMM信号を解析することで、印加電圧に対するキャリアの振る舞いを可視化することができます。本資料では、キャリア濃度既知のSi 試料を用いた解析結果をご紹介いたします。

取扱会社半導体中キャリアの直流電圧依存性評価

一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

受託分析サービスで、研究開発を行う皆様をサポートします！半導体・金属・電池などのエレクトロニクス材料や、医薬品・化粧品・食品・環境などのライフサイエンス分野に幅広く対応。 SIMS・TEM・XRD・ICP-MS・GC/MS・AES・SEM・EPMA・EELSなど、さまざまな分析装置を保有し、分析ニーズに応えます。まずはご相談下さい。 ◆事業領域◆ 1. 科学技術分野における材料に関する基礎的研究及び解析・評価。 2. 半導体、生理学生化学、バイオ関連分野及び各種先端的分野についての基礎的研究及び解析・評価。 3. １、２号に掲げる国内外における関連分野の研究機関又は個人に対する表彰及び支援。 4. １、２号に掲げる研究成果等の出版または出版の支援。 5. １、２号に掲げる国内外における関連分野の調査。 6. １、２号に掲げる国内外における関連分野に関する研修の実施及び支援または研修所の運営。 7. その他目的を達成するために必要な事業。