アル株式会社本社
最終更新日：2020-10-27 16:46:00.0
FSI Mercury MP
FSI Mercury MP
『FSI Mercury MP』は、メインコントロール内のPLCコントロールASSYを
一式完全交換ができる製品です。
新しい24ビット12トゥルーカラータッチスクリーン付き機械制御システムを
採用。既存のプロセスレシピを保持しています。
また、オプションのリモートアクセスが可能となっており、
既存ケーブルへの簡単接続ができます。
【特長】
■フィールドサービスアップグレードキット(IN/OUT)
■ダイレクトドライブモーター、メンテナンスフリーモーターASSY
■IoTとビックデータへの準備
■既存のプロセスレシピを保持
■装置モデル：0106/0107/0113
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 （詳細を見る）
取扱会社 FSI Mercury MP
■各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計・製造・輸入・販売 ■スパッタリング・真空蒸着装置の輸入・販売（米国CHA社） ■高真空部品（サーミオニクス社） ■高純度水素精製装置（ジョンソンマッセイ社）の輸入・販売 ■サファイア基盤・部品の輸入・販売 ■上記に付帯するメンテナンス・フィールドサービス
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