シリコンウェーハ向け研磨スラリー『Nanopure(TM)シリーズ』

『Nanopure(TM)シリーズ』は、ニッタ・デュポン株式会社が製造する
高品質なシリコンウェーハ用ポリッシングスラリーです。

高平坦性、低欠陥、高生産性などの優れた研磨性能を安定して発揮します。
ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

【概要】
■シリコンウェーハの1次・2次及びFinal研磨やエッジ研磨に好適
■アルカリ性コロイダルシリカベーススラリー
■高研磨レート、高平坦性、低欠陥性を安定して発揮
■用途にマッチングした豊富なラインアップ

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）