不織布パッド『SUBA(TM)』

『SUBA(TM)』はシリコンウェーハやガラス基板、サファイア基板から
GaN・SiC基板まで様々な種類の基板に対応できる研磨パッドとして、
高い性能と安定性・信頼性を発揮する不織布パッドです。

様々な用途に対応できる幅広いラインアップで理想的な研磨仕上がりを達成します。

より平坦度を重視した硬質系、平面度を重視した軟質系等、様々なご要望に
お応えいたします。

【特長】
■幅広い研磨対象に用いられる、高研磨レートを特長とした不織布系パッド
■標準品だけで10種類以上をラインアップ
■高硬度、高密度なパッドは仕上り平坦性が向上
■低硬度、低密度なパッドはディフェクトが低減

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。 （詳細を見る）